美国科技媒体:中国正在以10年低效期的代价去开发自主设备
随着美国制裁的一步步收缩,中国获得ASML先进EUV光刻机的希望渺茫,于是中国企业将目光放在了浸润式DUV光刻机上。中国企业正在尝试完成国产浸润式设备的开发,并且依赖于多重图案化技术去制造国产的先进芯片。
随着美国制裁的一步步收缩,中国获得ASML先进EUV光刻机的希望渺茫,于是中国企业将目光放在了浸润式DUV光刻机上。中国企业正在尝试完成国产浸润式设备的开发,并且依赖于多重图案化技术去制造国产的先进芯片。
朋友圈有人转发“国产28nm光刻机年底交货”,配图是蓝到失真的渲染图;群里立马有人接话,“别高兴太早,落后ASML两代呢”。
中国企业正在测试一款全新的前端制造设备,该设备搭载了浸润式系统,可以制造14nm、7nm等制程工艺的芯片,这与ASML的浸润式DUV光刻机在技术上面如出一辙。